Аннотация
Методами атомно-силовой и растровой электронной микроскопии в настоящей работе изучены особенности морфологии поверхности плотных мембранных фильтров на основе палладия с элементным составом Pd95Pb5 и Pd93.5In6.0Ru0.5 (числовые коэффициенты здесь и далее определяют состав в мас. %). Толщина плотных мембранных фильтров составляла 50 и 70 мкм соответственно. Изготовлены образцы из металлов высокой степени чистоты методами электродугового сплавления в защитной атмосфере и холодного проката с несколькими этапами промежуточного вакуумного отжига. В морфологии поверхности фильтров отмечены различия, обусловленные элементным составом сплавов. Установлены проявления кавитации в виде микроворонок при легировании палладия свинцом и отсутствие оных для сплава палладия с индием и рутением. Показаны различия шероховатости поверхности образцов. В режиме контраста латеральных сил методом атомно-силовой микроскопии установлено наличие участков поверхности различной твердости. Полученные результаты важны не только при проектировании элементного состава мембранных фильтров с целью оптимизации их эксплуатационных свойств при использовании в современных наукоемких технологических процессах, но и в индустрии контактов и микросхем с целью увеличения их износоустойчивости.