Структура и электропроводность тонких пленок нитрида алюминия на кремнии
- 作者: Базлов Н.В.1,2, Вывенко О.Ф.1, Ниязова Н.В.2, Котина И.М.2, Трушин М.В.2, Бондаренко А.С.1
-
隶属关系:
- Санкт-Петербургский государственный университет
- Петербургский институт ядерной физики им. Б.П. Константинова, Национальный исследовательский центр “Курчатовский институт”
- 期: 卷 69, 编号 1 (2024)
- 页面: 91-98
- 栏目: ПОВЕРХНОСТЬ, ТОНКИЕ ПЛЕНКИ
- URL: https://rjmseer.com/0023-4761/article/view/673240
- DOI: https://doi.org/10.31857/S0023476124010136
- EDN: https://elibrary.ru/svbvme
- ID: 673240
如何引用文章