Структура и электропроводность тонких пленок нитрида алюминия на кремнии
- Autores: Базлов Н.В.1,2, Вывенко О.Ф.1, Ниязова Н.В.2, Котина И.М.2, Трушин М.В.2, Бондаренко А.С.1
-
Afiliações:
- Санкт-Петербургский государственный университет
- Петербургский институт ядерной физики им. Б.П. Константинова, Национальный исследовательский центр “Курчатовский институт”
- Edição: Volume 69, Nº 1 (2024)
- Páginas: 91-98
- Seção: ПОВЕРХНОСТЬ, ТОНКИЕ ПЛЕНКИ
- URL: https://rjmseer.com/0023-4761/article/view/673240
- DOI: https://doi.org/10.31857/S0023476124010136
- EDN: https://elibrary.ru/svbvme
- ID: 673240
Citar
Texto integral


